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发布时间:2022-07-24 03:16:00 作者:清阳净化系统工程
无尘车间净化技术的设备发展
世界各工业***国家为适应超净技术的发展,对无尘车间大量使用的高xiao过滤器的研究从未中断,几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品,美国自1979年开始研制0.1微米ULPA过滤器,1984年美国AAF公司开始生产0.1微米无隔板ULPA过滤器,目前0.1微米ULPA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。日本也已成为世界上生产0.1微米ULPA过滤器厂家很多的国家,品种繁多,产品系列化,尤其是无尘车间低压损型0.1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求(1)防静电地极接地电阻<10Ω。
美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中,采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境,把投资比例压缩到高ji别的微环境,无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。食品GMP生产车间无尘车间内的操作台,传送带,运输车,工器具应当用无1毒,耐腐蚀,不生锈,易清洗消毒,坚固的材料制作。
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