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发布时间:2022-08-13 12:46:00 作者:清阳净化系统工程
无尘车间净化技术的设备发展
美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。洁净室要按时灭菌消毒,人员进入时即使有防尘措施(穿戴无尘服,手套,帽子等)也应经过消毒才能进入,及带入的东西都要进行灭菌处理,虽然这些都是简单的事情,但是对洁净室净化工程来说是非常重要的。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中,采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境,把投资比例压缩到高ji别的微环境,无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。
食品净化工程卫生安全要求
要在车间内适当的地方,设置工器具清洗、消毒间,配置供工器具清洗、消毒用的清洗槽、消毒槽和漂洗槽,必要时,有冷热水供应。
在地面防滑性上,应选用防滑、坚固、不渗水、易清洁、耐腐蚀的材料铺制,车间地面表面要平坦,不积水。车间整个地面的水平在设计和建造时应该比厂区的地面水平略高,地面有的斜坡度
制订防静电管理制度,并有专人负责。定期检查、维护防静电设施的有效性。
(1)手腕带:每天检查一次。
(2)防静电衣服:每月检测一次。
(3)防静电鞋:每个星期检测一次。
(4)人体综合电阻:每天检测一次,一般在车间入口处检测。
(5)防静电元器件架、印制板架、周转箱、运输车的防静电性能每六个月检查一次。
(6)防静电地板、桌垫、地垫每三个月检测一次。
(7)静电消除设备每三个月检测一次,可用静电测试仪。
(8)防静电产品的接地每月检查一次。
无尘车间检漏试验工作程序
5.3.1. 检漏准备准备好检漏所需器材与待检区域的净化空调系统送风管道道平面布置图,并通知净化空调设备公司于检漏当日到场进行打胶及更换高xiao过滤器等操作。
5.3.2.无尘车间检漏操作
① 检查气溶胶发生器中DOP溶剂的液位是否高于低液位,不足则应添加。
② 连接氮气瓶与气溶胶发生器,开启气溶胶发生器的温度开关,至红灯转换为绿灯,即表示到温(约390~420℃)。
③ 将测试软管的一端呗在气溶胶光度计的上游浓度测试口,另一端置于被检测高xiao过滤器的进风侧(上游侧) [系统检漏可直接把DOP烟雾放入空调器内(注意不要被空调器内的过滤器吸附了);若DOP发生器较小,达不到规定的浓度,可放在被测高xiao过滤器的静压箱内,层流工作台可直接放入风机吸入口],打开光度计开关,将测试值调节至“100”。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例,这与集成电路工艺不断更新,产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应,严重制约了大规模集成电路技术的发展。
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